SPM7 PFA/테플론 유량계 (Flowmeter)

초고순도 액체 측정을 위한 특수 유량계

SPM7은 PFA와 테플론(PTFE) 소재로 제작되어 DI water, Chemical 등 초고순도 유체의 유량 측정 및 제어에 최적화된 유량계입니다. 특히 반도체 습식 공정 등 오염에 민감한 분야에 적합합니다.

주요 특징 (Features)

• 우수한 내오염성: Particle free 구조로 파티클 발생이 없어 초고순도 유체 환경에 이상적입니다.

• 뛰어난 내화학성: PFA와 테플론 소재를 사용하여 부식에 강한 유체를 안정적으로 측정할 수 있습니다.

• 정확한 유량 측정: ±3%의 Full Scale 정확도로 안정적인 공정 관리를 지원합니다.

• 다양한 유량 범위: Gas(0.2~2 LPM, 5~50 LPM) 및 Liquid(2~20CC, 0.2~2LPM)의 유량을 측정할 수 있으며, 다양한 요구사항을 충족합니다.

• 알람 기능: 유량 레벨 감지 센서 (Optic Sensor)를 통해 알람 출력이 가능합니다.

• 다양한 연결 방식: PT Female, NPT Female, Tube Fitting 등 다양한 연결 옵션이 있어 설치가 용이합니다.

• 사용자 맞춤형 주문: 유체 종류, 유량 범위, 연결 방식, 알람 기능 등을 선택하여 맞춤형으로 주문할 수 있습니다.

제품 사양 (Specification)

주문 정보 (Ordering Information)

SPM7 모델은 아래의 코드를 조합하여 맞춤 제작이 가능합니다.

SPM7 - ①②③ - ④⑤ - ⑥⑦

적용 분야 (Applications)

• 반도체 습식 식각 공정: DI water, Chemical 유량 측정 및 제어

• 고순도 유체 공급: 고순도 Chemical, DI water를 사용하는 계측기 및 장비

• 소형 연구소: 소형 연구 장비의 고순도 유체 유량 측정

• 생명과학 분야: 미생물학, 화학, 의학 등 고순도 유체 사용