SPM8 PFA 유량계 (Flowmeter)

초고순도 및 부식성 화학물질을 위한 최적의 유량계

SPM8은 PFA(Perfluoroalkoxy) 소재로 제작되어 DI water, Chemical, 특히 불산(HF) 및 부식성 화학물질 등 초고순도 유체의 유량 측정 및 제어에 최적화된 유량계입니다.

주요 특징 (Features)

• 뛰어난 내화학성: PFA 소재를 사용하여 부식성이 강한 화학물질을 안정적으로 측정할 수 있습니다.

• 오염 방지 구조: Particle free 및 Leak free 구조로 초고순도 환경에 적합합니다.

• PPA 용접: PFA 용접으로 제작되어 누설 없이 견고합니다.

• 정확한 유량 측정: ±3%의 Full Scale 정확도로 안정적인 공정 관리를 지원합니다.

• 알람 기능: 유량 레벨 감지 센서 (Optic Sensor)를 통해 알람 출력이 가능합니다.

• 다양한 연결 방식: PT Female, NPT Female, Tube Fitting 등 다양한 연결 옵션이 있어 설치가 용이합니다.

• 판넬 마운팅 가능: 판넬 마운팅이 가능하여 장비에 깔끔하게 설치할 수 있습니다.

제품 사양 (Specification)

주문 정보 (Ordering Information)

SPM8 모델은 아래의 코드를 조합하여 맞춤 제작이 가능합니다.

SPM8 - ①②③ - ④⑤ - ⑥⑦

적용 분야 (Applications)

• 반도체 습식 공정: Chemical 공급 라인, 특히 불산(HF) 식각 및 세정 장비

• 초고순도 유체: 고순도 Chemical 유량 측정

• 실험실 장비: 유리 사용이 불가능한 화학물질 측정

• 생명과학 분야: 초순수 및 고순도 유체 유량 측정